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第414章 光刻路线[3/3页]

　　做文章。193纳米已经近乎到达了目前人类认知的极限，光刻机领域卡在这里已经二十年都无法再进一步。

　　现在在尝试研究的，一种是霓虹国在研究的157纳米，利用氟气准分子激光发出波长157纳米附近的真空紫外光；另一种是一位华人教授提出的，在保持193纳米光源的基础上，将光线与晶体的介质从空气变成水，通过水1.44的折射率，将193纳米的光波折射成134纳米的波长。”

　　徐端仪说到这，抬头看了眼沈岳山，确定他这时候还听得懂。

　　起码王大忠已经懵了，他的专业不在这个方向，技术储备只足够他听得懂大概，这种牵涉到前沿研究的领域，已经超过了他的认知范畴。

　　“沈总？”徐端仪轻轻唤了声，确保一直沉默的沈岳山脑子还在线。

　　但是没有回应，过了好一阵，徐端仪又唤了声：“沈先生？”

　　这会儿沈岳山从思绪里反应过来了，他本来想凭记忆回忆起重生前三十年光刻机的技术发展路径，但显然是白费力气。

　　当重新把思绪琢磨着徐端仪说的那番话时，他反应过来了。

　　“确实没有第四种路径了对吧？”

　　“没了。”徐端仪很是确认地摇摇头，打趣道：“光这三种假设已经耗费了全球物理学界众多精英的脑细胞，还要再想出第四种可能估计能逼疯不少人。”じ☆veWWω.ЫＫメＳ.иＥｔ✾ ั

　　“那你说的157纳米哪个技术路线，叫什么来着？”沈岳山急忙问道。

　　“叫干法刻蚀。”徐端仪快速回答。

　　“确定这个干法刻蚀是霓虹国在研究的对吧？”

　　“对，主要是尼康，这是他们主攻的方向。”徐端仪确认道。

　　沈岳山猛一拍手掌，高声道：“行了，那就走第三条路线吧！就是哪个华人教授提出来的中间加水那条，这条路一定能成功！我说的！”

第414章 光刻路线[3/3页]

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