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第414章 光刻路线[2/3页]

　　的光刻机供货机构，而且两位之前已经和我合作过，过程相当愉快。”

　　“但是我们没技术啊。”徐端仪说着，他受过沈岳山不少帮助，不想让对方投资了自己，就像买了个没一点用处的拖油瓶。

　　“技术是靠积累过来的。”沈岳山说道：“只有多投入多研发，才有可能获得。”

　　“但我们已经没机会了。”徐端仪要的是一种能够拯救团队的方式，而不是一笔只能让自己苟延残喘的资金。

　　如果没有方向，没有路子，没有胜利的可能，那投入再多的钱都是浪费。

　　沈岳山想了想，突然开口道：“我有点思路。”

　　“思路？关于什么的思路？”王大忠问道。

　　“关于光刻机发展的思路。”

　　这倒让两人觉得神了，这个商人是有点技术基础，可他在当下全世界都在钻研的光刻机发展路径上面，竟然也有想法吗？

　　“徐教授，你给我介绍下，之前说的光刻机发展路径，目前来看一般有哪几条路子？”

　　徐端仪不明所以，但既然对方问了，他也如实告知：“现在纵观全世界，光刻机的发展有三条路线，一种是直接上euv光刻机，也就是用短波紫外线来进行光刻，波长在13.5nm，如果能够实现，一定是当前技术范围里最先进的光刻方式。”

　　沈岳山对euv光刻机有很深的印象，因为上一世2020年后，euv光刻机的禁售就是对华的遏制方式之一。

　　这也就表明，euv光刻机照目前的技术是不能研发出来的，起码还有二十年，这项技术才可能面世，这不会是现在应该主攻的方向。

　　“那后面两种呢？”

　　徐端仪也有点担心沈岳山听不懂，但既然对方问了，他便继续答道：“剩下的两种，都是在当前性价比最高的duv深紫外光刻技术的193纳米光源上

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